6100系列是采用多弹簧薄膜结构,重量轻、体积小、性能高、输出力大的直行程气动薄膜式执行机构。其工作原理为:由调节仪表来的电或气信号经定位器转换而成气压被输入到膜室内,作用于膜片上产生推力,使输出轴移动,同时压缩弹簧直至和弹簧的反作用力相平衡,使输出轴到达预定位置。位置控制也可通过气信号（20~100KPa）直接作用于膜片上来实现。

6101D（R）~6105D（R）为单膜头结构6106D（R）和6107D（R）为双膜头执行机构,分别在6103和6104的基础上增加一个膜头,因此,在相同的供气压力下,执行机构输出力可增加一倍。