索奥科技突破真空阀门技术，助力半导体国产化进程

近日，索奥科技成功攻克了半导体APC摆阀技术难关，继其蝶阀产品之后，正式进入设备厂商的验证流程。这两款具备高精度自动控压能力的半导体设备核心部件，填补了国内高端自动控压真空阀领域的技术空白，为半导体产业链的国产化注入了新的动力。作为半导体设备中的关键部件，真空阀被称为“压力守门人”，其稳定性和精度直接影响晶圆的良品率，具有至关重要的作用。

随着国内半导体产业的快速发展，索奥科技响应国家自主化战略，投入大量资源进行真空阀门的研发与国产化替代。公司与韩国Ronda、Novasen公司开展深度合作，依托韩方在APC阀门领域的技术积累以及中国团队的本土化运营经验，迅速完成了半导体级蝶阀和摆阀的研发，打破了国内半导体设备大量依赖欧美进口的局面。

索奥科技的真空阀门产品采用自主研发的智能软件逻辑，可根据真空腔体内压力的变化实时调节阀门开合角度，确保控压精度稳定在±0.1%的国际水平。企业还在国内成立了研发中心，推动所有机械设计和核心技术的本土化，提升中国团队的技术竞争力。至今，索奥已获得30项专利，并与拓荆科技、微导纳米、先导科技等多家知名半导体和光伏设备公司建立了合作。

依托经开区的产业生态，索奥科技还通过与电机供应商无锡奕帆的合作，进一步推动了上下游协同发展。未来，索奥将继续深耕真空阀门领域，助力半导体产业的国产化进程，并推动区域产业链的协同发展，形成更强大的产业发展合力。