HGU高真空球阀：半导体领域革新之作，无死角密封引领高效流通

HGU高性能半导体用球阀是温州先锋阀门有限公司最新研制的高真空球阀产品（已申请国家专利），阀体内腔采用弧面全包球设计，保证了体腔无死角，能消除球体和阀体之间的缝隙，减小气体聚集，它钻孔的球形端口可以彻底排空气体，能最大限度地提高电导性直通、无阻碍的流动。阀体、球阀和端盖由实心材料加工而成，其全端口尺寸和整体长度最短化使阀门和加热部件之间的热传递最大化。还可以配置为加热和隔热的结构来保证阀门内部的温度稳定性。

这种阀门在真空管路系统中表现得非常出色，保持清洁的动态密封以防止故障时对系统的污染。HGU球阀是一种极其可靠的高真空阀，可用于在最具挑战性的环境中。

高性能半导体用球阀使用条件

额定真空度：1×10-­8 Torr

氦气泄漏额定值小于1×10-9 std.cc/sec

材料：304、304L、316 L

阀座材料：PTFE

使用温度：-26℃～150℃

尺寸范围：DN63～100

连接方式：GB4892/ISO-KF，GB6070/ISO-F

驱动方式：手动、气动、电动